BGBM製程的簡介 BGBM為Backside Grinding (晶背研磨) & Backside Metallization (晶背金屬化)兩種連續性的製程縮寫，稱為晶圓背面研磨和晶背金屬化，又稱晶背金屬鍍膜製程，其成品Wafer產業內稱為 Back Side Metal (BSM) 簡單來說就是先將晶背研磨後，使其平整且略帶有粗糙度後，進行鍍化金屬加工。如晶背表面過於光滑，會使其金屬鍍層無法有效與Wafer (基材Si)咬合完整，而產生後續加工時金屬脫層之異常，故有效掌握恰好的粗糙度是製程關鍵之一。 進行鍍化加工時，每一層材料的厚度及反應完成的時間，也是重要關鍵所在金屬材料特性上本來就有不同延展性的差異，再結合多種材料後有效的控制Wafer金屬延展後Warpage的程度，更會直接引響良率多寡。  為什麼要控制Wafer Warpage的範圍呢? 因為過大的Warpage是無法使用現行量產機台走自動化作業，甚至上機量產時常需要人工做輔助會造成機台撞片、加工破片、良率偏低、UPH下降…等重大問題發生 BGBM現行製程能力 BGBM製程的優點 晶圓薄化技術充分因應市場對半導體元件輕薄短小、高性能、節能之高度需求，因此可廣泛運用在MEMS、CMOS、3DIC、Memories、Logic、Power、RF、LED、Interposer、Diode、Schottky Diode、IGBT等各種用途之中 藉由使用晶圓薄化技術可提供積體電路高密度互連，大幅縮短導線或TSV間距，降低功率損失，並滿足元件封裝薄型化、小型化之需求，實現半導體元件性能全面提升之目標。 實際與客戶端之討論後，銀- 發現有高頻需求的產品，更可以透過此材料來提升傳輸效率的達成鈦、鎳、銅- 有效的幫助產品快速的散熱，維持更好的工作溫度未來會有更有效的新材料導入，來幫助更多客戶的不同需求。 |
