集成电路加工环境是指集成电路产品在加工过程中接触的除单晶材料、能源及加工技术之外的一切物质,如空气、水、化学试剂、加工所用 气体、加工设备以及加工人员等。 例如,在空气洁净度高于ISO2级的洁净室中,装卸片操作引起的污染为30%,操作者本人引起的污染为30%,设备引起的污染为25%,洁净室引起的污染为10%,其他因素引起的污染为5%。
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