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集成电路产业的特点之一是高次品率,这就意味着要获得高成品率,必须付出比较大的人力 ...

2015-3-3 10:40| 发布者: lfcx| 查看: 121| 评论: 0

摘要: 集成电路产业的特点之一是高次品率,这就意味着要获得高成品率,必须付出比较大的人力、物力和财力的代价。集成电路制造的成品率Y定义为: 集成电路制造的一个重要目标是减少缺陷,加快成品率斜线上升的速度,提高日 ...

  集成电路加工环境是指集成电路产品在加工过程中接触的除单晶材料、能源及加工技术之外的一切物质,如空气、水、化学试剂、加工所用 气体、加工设备以及加工人员等。

        例如,在空气洁净度高于ISO2级的洁净室中,装卸片操作引起的污染为30%,操作者本人引起的污染为30%,设备引起的污染为25%,洁净室引起的污染为10%,其他因素引起的污染为5%。  

  

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