失效机制及版图设计技巧

    4．天线效应

    天线效应：也叫等离子致损伤，指暴露的导体可以收集能够损坏薄栅介质的电荷的失效机制。

    天线效应会产生场致漏电流，引起强场介质立刻或延迟失效。

    防护措施：任何天线比超过规定值的节点必须返工，采用的具体技术取决与涉及到哪一层。在多硅的例子中，通过插入金属跳线可以减少该比值。

    如果电路中不包含与节点相连的晶体管，则可连接泄露器代替。

图 （A）易受天线效应影响的版图结构；（B）可通过增加金属跳线加以抑制