2.扩展漏区PMOS晶体管 图12.7(A)显示了采用N阱CMOS工艺制作的非对称扩展漏区PMOS晶体管的剖面图。扩展漏区的漂移区由P型沟道终止注入构成。图12.7(B)显示了对称扩展漏区PMOS晶体管,它的源端和漏端都采用沟道终止注入形成漂移区。
图 PMOS晶体管剖面图:(A)非对称扩展漏区结构;(B)对称扩展漏区结构 |
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