3.在许多需要LDD或者DDD NMOS晶体管的应用中仍使用普通的PMOS晶体管。PMOS器件只需要一次源/漏注入,所以也叫做单扩散漏区(SSD)晶体管。SDD PMOS具有氧化侧壁隔离的结构,也叫埋层沟道轻掺杂漏区(BCLDD),如下图。
4.现代亚微米CMOS工艺拓展了轻掺杂漏区技术,不再对整个背栅惊醒相同的掺杂,而是只注入轻掺杂漏区周围的部分区域形成重掺杂。这些区域称为口袋注入,或者穿通阻止。如下图所示。口袋注入可以减小阈值电压的背栅调制效应,否则这将成为亚微米器件中的一个很严重的问题。 |
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