3.热载流子注入:强电场也可以产生具有足够能量的热载流子。最早的EPROM通过源自雪崩击穿结的热载流子注入进行编程。这种EPROM中使用的浮栅器件称为浮栅雪崩注入金属氧化物半导体(FAMOS)晶体管。
图 FAMOS晶体管解剖图 4.Fowler-Nordheim隧穿:Fowler-Nordheim隧穿可向浮栅注入热电子,也可把热电子从浮栅中去除。浮栅隧穿氧化层(FOTOX)晶体管就是利用此效应进行编程与擦除的,如下图。 |
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