2.不相同的宽度需要使用带有凹口的沟槽(图11.8),图中的晶体管M1和M2公用一个源区,故漏区叉指占据着阵列的两端。对于这种结构不能使用相邻的背栅接触孔,所以将背栅接触孔放置在与器件存在一定距离的位置。
图 合并晶体管M1和M2共用一个源极(为了清楚起见,图中未绘制阱) 3.CMOS版图使用了合并器件从而节约了面积且减小了电容。图11.19显示了一个简单的二输入与非门(NAND)的版图,并以此为例展示了许多常用的技术。 |
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