2．CMOS和BiCMOS肖特基二极管 CMOS工艺中贵金属硅化物和N阱之间形成的典型肖特基二极管如下图。沟槽穿过接触孔确保了接触在薄氧化层上。
图 CMOS工艺制造的PSD保护环肖特基二极管的版图和剖面图 |
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