有源器件双极晶体管及其版图

    5．超βNPN晶体管

    某些标准双极工艺流程中提供工艺扩展用于制造具有极高β值的晶体管，这些器件被称为超β晶体管。

    β值超过5000的晶体管是可以制造的，但是这些晶体管的厄利电压和穿通电压只有几个伏特。所以超β晶体管只有在极限情况下才会使用。

    下图两种晶体管的唯一区别是对扩散区扩散的选择。经过修改的发射区扩散可以生成小于0.1um的有效中性基区宽度。

图 剖面图比较：（A）标准双极型NPN晶体管；（B）超βNPN晶体管