无源器件电感及其版图

    电感的体区应该位于尽可能高的金属层中。内圈的抽头通常制作在电感体区之下而不是之上。这些措施有助于减小寄生电容。

    3）考虑把两层或三层金属层结合在一起使用

    如果工艺能够提供三层或四层金属，则应该考虑把两层或三层金属并联在一起制作电感体区。使用通孔把几层金属连接在一起，这样可有效地降低金属的方块电阻，从而增加电感的Q值，避免使用一层金属制作电感，因为第一层金属距离硅太近。

    4）使所有未连接的金属线远离电感

    作为一条一般性原则，未连接的金属和电感的距离至少应该保持在电感金属线线宽的5倍以上。这条规则有助于避免导体材料进入电感产生的磁场范围之内，从而使涡流损耗最小。

    5）避免使用过宽或过窄的金属线

    对于工作在1～3GHz下的电感，最优的宽度是在10 ～15um。窄导线的串联电阻过大，而宽导线易受电流集边效应的影响。

    6）使用尽可能窄的线圈间距

    线圈间距越小，电感各线圈间的磁耦合越强，从而具有更大的电感值和更高的品质因数。