3.单位面积电容 1)集成电路中所有的电容都是平行板电容(parallel-plate-capacitor),它由称为电极的两块导电平板和一层称为电介质的绝缘材料构成,电极位于电介质的两侧,见下图。
2)单位面积电容即为: 其中,t为电介质层厚度,ξr为相对介电常数,或电介质常数。上图中简单平行板电容,可以通过下式近似求得: 3)相对介电常数取决于介质本身的特性。下表列出了集成电路中常用的几种材料的相对介电常数。
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