无源器件电容及其版图

    设计者通常复制匹配电容形成虚拟（衬底）电容，人们认为这样呢可以实现更好的匹配。虚拟（陪衬）器件的尺寸实际上对刻蚀速率没有什么影响。只要使用金属板覆盖陈列阻止边缘电场，就没有必要采用同样尺寸的虚拟（陪衬）电容。

图 采用接地的虚拟（陪衬）电容的匹配电容阵列。

    为了清楚起见，将覆盖在阵列上的第二层金属屏蔽层省略