无源器件电阻及其版图

  对电阻值的影响因素很多，包括工艺变化、温度、非线性及接触电阻。其他次要因素主要影响电阻匹配，包括方向、压力和温度梯度、热电子效应、刻蚀速率的不一致性、电压调制等。

    1．工艺变化

    1）电阻的阻值取决于其方块电阻与尺寸。

    2）方块电阻随薄膜厚度、掺杂浓度、参杂分布和退火条件的波动而变化。

    3）电阻的尺寸会由于光刻误差和刻蚀速率不一致二变化。

    4）现代工艺的方块电阻误差维持在20%至25%以内。

    5）线宽控制是指对由光刻和工艺带来的尺寸变化的度量。线宽控制用特征尺寸的百分比来衡量，它随着特征尺寸的提高而改善。