位置和方向:匹配器件应排在管芯应力梯度最小的区域。管芯表面应力分布的对称性可用来进一步改善匹配性。 11)温度梯度和热电效应:热梯度与热电效应 12)静电影响:①电压调制;②电荷分散;③电介质极化;④介电松弛。 2.电阻的匹配规则 1)匹配电阻要由同一材料构成。 2)匹配电阻应具有相同宽度。 3)电阻值要足够大。 4)匹配电阻要足够宽。 5)尽量使用相同的电阻图形。 6)沿同一方向摆放匹配电阻。 7)匹配电阻要临近摆放。 8)阵列化电阻采用叉指结构。 9)在电阻阵列的两端要设置虚拟(陪衬)器件。 10)避免采用较短的电阻段 11)连接匹配电阻以消除热电效应。 12)匹配电阻尽量放置在低应力区域。 13)匹配器件要远离功率器件。 14)精确匹配电阻应该沿管芯对称轴放置。 15)考虑隔离岛调制效应。 16)分段电阻优于折叠电阻。 17)首先采用多晶硅电阻而非扩散电阻。 18)把淀积电阻放在场氧化层之上。 19)不要让NBL阴影与匹配扩散电阻相交。 20)考虑采用场板和静电屏蔽。 21)避免在匹配电阻上排布未连接的导线。 22)避免匹配电阻功耗过大。 |
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