无源器件电阻及其版图

    5）埋层电阻是主要用作高值电阻的边缘器件。

表4　典型电阻器件参数

    4．高值薄层电阻（HSR）

    1）高值薄层电阻注入可以作为大部分标准双极工艺的扩展，这种注入的方块电阻从1～10KΩ/□，其值取决于注入量、结深以及后来的退火条件。

图HRS电阻的版图和剖面图